近日，德圖儀器 Emission 團隊攜手我國中國臺灣地區(qū)合作伙伴德斯特儀器，圓滿完成半導體企業(yè)臺積電（TSMC）的煙氣監(jiān)測與數(shù)據(jù)管理項目交付。一批 15 套 testo 350 煙氣分析儀及數(shù)據(jù)采集傳輸系統(tǒng)已全面投入臺積電各廠區(qū)日常運行，為其廢氣治理升級、氮氧化物精準減排、綠色能效優(yōu)化提供了堅實的數(shù)據(jù)支撐。

歷經(jīng)近 1 年半的深度協(xié)作，從前期用戶需求調(diào)研、現(xiàn)場工藝勘察，到技術(shù)方案論證、樣機測試驗證，再到最終的系統(tǒng)部署與交付，德圖團隊與中國臺灣德斯特緊密配合，成功解決了臺積電在生產(chǎn)制造全流程中的廢氣檢測、VOC 廢氣處理設(shè)備效率評估、廠區(qū)排放合規(guī)監(jiān)測等多項核心難題，助力臺積電踐行綠色低碳發(fā)展理念。

項目背景

半導體企業(yè)的綠色升級需求

作為半導體制造企業(yè)，臺積電始終將環(huán)保、綠色、低碳作為企業(yè)發(fā)展的核心戰(zhàn)略之一。本次項目正是臺積電為落實中國臺灣地區(qū)《環(huán)境保護政策》，采用最佳可行技術(shù)實現(xiàn)空氣污染物低排放目標而啟動的關(guān)鍵舉措，旨在通過優(yōu)化不同類型廢氣處理設(shè)備的燃燒工況，最終實現(xiàn) 60%-65% 的 NO? 減排目標。

臺積電與德圖的合作由來已久，多年來一直使用 testo 煙氣分析儀進行廠區(qū)排口的廢氣排放合規(guī)監(jiān)測。隨著企業(yè)近年來在環(huán)境保護、綠色低碳、ESG 方向的全面深化發(fā)展要求，用戶需求從簡單的單點煙氣檢測，擴展到了對工藝過程定期&分時段在線監(jiān)測，以及數(shù)據(jù)的同步上傳和再利用、廢氣處理設(shè)備的燃燒優(yōu)化和能效管理、再到廢氣的合規(guī)排放監(jiān)測等多樣化需求。具體如下：

  ●  踐行綠色工廠以及 ESG 目標

  ●  廢氣處理設(shè)備燃燒優(yōu)化調(diào)整

  ●  對脫硝工藝和效率進行監(jiān)測

  ●  環(huán)保職能人員對每個廠區(qū)的終端排口廢氣進行手工監(jiān)測

  ●  通過煙氣測量驗證廠商所供應設(shè)備是否達標

  ●  踐行綠色工廠以及 ESG 目標

德圖定制化解決方案 

精準測量 + 智能數(shù)據(jù)管理

針對臺積電多樣化、精細化的監(jiān)測需求，德圖團隊聯(lián)合中國臺灣本地合作伙伴，為其量身打造了 "專業(yè)煙氣測量 + 數(shù)據(jù)實時傳輸 + 設(shè)備智能調(diào)控" 的一體化解決方案。

經(jīng)過多輪技術(shù)論證與現(xiàn)場測試，臺積電最終選擇了 testo 350 煙氣分析儀（配置 O?、CO、NO、NO?、CO?-IR 傳感器），搭配模擬輸出盒與MODBUS（RS485）模塊的組合方案。該方案不僅滿足日常手工巡檢的需求，更能無縫集成到臺積電現(xiàn)有的設(shè)備管理系統(tǒng)中，實現(xiàn) "測量 - 數(shù)據(jù)傳輸 - 設(shè)備調(diào)節(jié)" 的全流程自動化閉環(huán)。

項目成效

多方位賦能綠色制造

目前，testo 350 煙氣分析儀已全面部署于臺積電中國臺灣所有廠區(qū)，廣泛應用于日常設(shè)備維護、燃燒系統(tǒng)調(diào)節(jié)與廢氣排放監(jiān)測等工作，尤其在脫氮減排技術(shù)改進中發(fā)揮了關(guān)鍵作用。

1. 全流程精準數(shù)據(jù)支撐

從燃燒工況調(diào)整、NO? 源頭減排、燃料消耗優(yōu)化，到 CO? 減排與碳捕集利用（CCUS），德圖煙氣分析儀憑借高精度的測量能力，為每一個環(huán)節(jié)提供了可靠的數(shù)據(jù)依據(jù)，幫助臺積電實現(xiàn)了廢氣治理的精細化管理。

2. 數(shù)字化數(shù)據(jù)管理升級

通過搭載模擬輸出盒和 MODBUS（RS485）模塊，testo 350 可將測量數(shù)據(jù)實時傳輸至臺積電的設(shè)備管理平臺，實現(xiàn)了測量數(shù)據(jù)的集中存儲、分析與再利用。同時，基于 MODBUS 協(xié)議的遠程控制功能，讓運維人員無需親臨現(xiàn)場即可完成設(shè)備操作與故障排查，大幅提升了工作效率。

3. 持續(xù)的用戶體驗保障

德圖便攜煙氣設(shè)備兼具專業(yè)性能與人性化設(shè)計，操作流暢、攜帶方便，即使在復雜的半導體生產(chǎn)環(huán)境中，也能為用戶提供穩(wěn)定可靠的測量體驗，獲得了臺積電環(huán)保與運維團隊的高度認可。

半導體行業(yè)的綠色低碳轉(zhuǎn)型已成為全球共識，NO? 減排、RTO/TO 能效優(yōu)化、ESG 數(shù)據(jù)支撐正成為行業(yè)企業(yè)的核心訴求。感謝臺積電對德圖技術(shù)與產(chǎn)品的信任與認可。

未來，德圖將繼續(xù)深耕工業(yè)測量領(lǐng)域，以專業(yè)的技術(shù)、精準的產(chǎn)品，為更多行業(yè)用戶提供高效、智能的環(huán)保測量解決方案，攜手推動全球制造業(yè)的綠色可持續(xù)發(fā)展。

如需了解更多德圖工業(yè)煙氣測量解決方案，歡迎后臺留言咨詢，我們將為您提供一對一的專業(yè)服務(wù)。